多光谱线扫3D
- 系列类型
- 测量
- 产品特点
-
以合理的价格实现多种产品的测量。
该产品可对光滑表面进行 3D测量 , 并以高速测量不同高度。 它是一款适合量产的产品 , 可精确测量晶圆的凸起高度。 此外 , 该产品具有高抗震性能 , 可广泛应用于各类工业领域 , 提供稳定可靠的解决方案。
产品介绍
技术原理及优势
使用光三角测量法，可高速测量物体的形状、高度等参数。
光源投射到测量对象上，反射光以特定角度在相机中形成图像。随后，根据发射方向和接收方向之间的角度，利用数学三角关系计算物体的位置。
| 与第三方产品相比测量范围更广。 根据相机规格，最多可测量 50mm 的视场范围（FOV）。 | 与第三方产品相比,可测量更小的凸起（Bump）高度。 根据相机规格，最多可测量 50mm 的视场范围（FOV）。 |
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应用案例
选型表格
| NL-1 | ||||||
| 型号 | - | Classic I | Classic II | Standard I | Standard II | Standard III |
| 线宽 | m | 22 | 43 | 12 | 25 | 50 |
| 线宽 | Ⅶ | 5.5 | 11 | 5 | 10 | 20 |
| 横向分辨率 | Ⅶ | 12 ~ 200 | 100 ~ 800 | 15 ~ 200 | 100 ~ 800 | 800 ~ 1600 |
| 精确度 | % | 0.5 | 1 | 0.5 | 1 | 2 |
| 重复精度 | Ⅶ | 1 | 2 | 1 | 2 | 4 |
| 镜头 | - | TCL 1.0X | TCL 0.5X | TCL 1.0X | TCL 0.5X | TCL 0.25X |
| 扫描速度 | Max. mm/ sec. | 55 | 110 | 25 | 50 | 100 |
| 包装清单 | - | 3D Line Scan,PC | ||||
