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产品介绍

技术原理

什么是干涉测量?

干涉测量法是指将来自同一光源的光分成两束，使它们在不同的路径上行进，然后观察当这两束光再次相遇时所产生的干涉现象的一种测量方法。

这是一种具有高精度的小区域非接触式光学表面测量方法。

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①来自LED照明的光线 ②通过分光镜（B/S）后分离，分别照射到参考镜和被测物体上。
③反射自两个物体的光线再次相遇，产生干涉现象，从而可以确定被测物体的精确高度值。

技术优势

● 可测量阶差高度、深度、粗糙度等多种参数

● 不到1秒的快速测量时间。

● 薄膜分离功能

● Z轴测量精度达数百纳米

● PSI模式（纳米级测量）

● 拥有多样化的产业和产品组合经验

● 选择自动对焦选项

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应用案例

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选型表格

第3页-47.PNG

		nXI-5				nXI-5T						nXI-5C
Module Dimension (H x W x D)	Ⅷ3	331 x 182 x 109				470 x 255 x 172						222 x 150 x 81
Weight (Basic module)	kg	< 6				< 15						< 5
Lens Magnification	-	10X	20X	50X	100X	2.5X	5X	10X	20X	50X	100X	10X	20X	50X	100X
Measurement Area (F.O.V.) *	Ⅷx Ⅷ	0.96 x 0.96	0.48 x 0.48	0.192 x 0.192	0.096 x 0.096	3.8 x 3.8	1.9 x 1.9	0.96 x 0.96	0.48 x 0.48	0.192 x 0.192	0.096 x 0.096	0.662 x 0.414	0.331 x 0.207	0.132 x 0.082	0.066 x 0.041
Working Distance *	Ⅷ	7.4	4.7	3.4	2	10.3	9.3	7.4	4.7	3.4	2	7.4	4.7	3.4	2
Pixel Resolution *	川	1	0.5	0.2	0.1	4	2	1	0.5	0.2	0.1	0.345	0.172	0.069	0.034
Numerical Aperture (N.A.)	-	0.3	0.4	0.55	0.7	0.075	0.13	0.3	0.4	0.55	0.7	0.3	0.4	0.55	0.7
Anti-Vibration Table	Ⅷ	-	-	-	-	-	-	-	-	-	-	-	-	-	-

	nXI-2			nXI-5SC			nXI-5ST
Type	-	S	M	L	-		-
Module Dimension (H x W x D)	Ⅷ3	382 x 280 x 104.5	429 x 370 x 134.5	444 x 465 x 144.5	363 X 360 X 440		434 x 460 x 444
Weight (Basic module)	kg	< 7	< 10	< 15	16		23
Lens Magnification	-	-	-	-	10X (DefauIt)	20X (0ption)	10X (DefauIt)	20X (DefauIt)	5X (0ption)	50X (0ption)
Measurement Area (F.O.V.) *	ⅧxⅧ	9 x 6	19 x 13	33 x 22	0.662 x 0.414	0.331 x 0.207	0.662 x 0.414	0.331 x 0.207	1.324 × 0.828	0.132×0.82
Working Distance *	Ⅷ	27	80	80	7.4	4.7	7.4	4.7	10.3	3.4
Pixel Resolution *	川	1.95	4.29	7.09	0.345	0.172	0.345	0.172	0.69	0.069
Numerical Aperture (N.A.)	-	0.09	0.0583	0.037	0.3	0.4	0.3	0.4	0.13	0.55
Anti-Vibration Table	Ⅷ	-	-	-	500 x 600 x 100
① 提供的所有信息如有更改，恕不另行通知。